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● 真空度測量范圍： 9.999×10-1～1×10-5Pa
● 離子電流測量范圍： 9.999×10-1～1×10-7A
● 測量誤差： <10%
● 測量分辨率： 10-5pa
● 高壓輸出：脈沖30kV 15kHz
● 允許環境溫度： -20℃～50℃
● 空氣濕度： ≤80%RH
● 電源： AC，220V，50Hz±10%